宇晶股份(002943)

公司深耕高端数控设备制造、配套核心耗材， 已实现在多晶硅、单晶硅、碳化硅、蓝宝石、磁性 材料、玻璃等硬脆材料切、磨、抛加工设备的全覆 盖；为国内稀缺 8 英寸 SiC 切磨抛装备供应商，战 略合作伙伴包括包括南砂晶圆、山东大学、中电化 合物、东尼电子、合盛硅业、中电二所、三安光电， 有望受益于国内 8 英寸碳化硅扩产和国产设备替 代。

盛剑环境(603324)

公司在 L/S 设备、真空设备、温控设备三大产 品线取得丰硕成果。其中，L/S 设备完成等离子+ 水洗双腔机型的研发验证，并获头部客户 Etch 制 程的测试订单；面向常压 EPI 领域的国内首台套水 洗+燃烧+水洗机型设备获 SEMI 认证，取得头部客 户测试订单；面向新能源领域研发 PW3000 机型并 取得订单；面向半导体领域有害气体的 PW 机型首 台突破项目立项。